引言
在半导体制造中，氮气、氩气等惰性气体的纯度直接影响晶圆良率。微量氧（ppb级）的氧化作用可能导致器件失效，传统氧分析仪成本高、维护复杂。Oxy.IQ微量氧分析仪凭借燃料电池技术，以低成本、高可靠性成为工程师的首选。
行业痛点与解决方案
痛点
- 氮气管道中ppm级氧杂质导致晶圆氧化。
- 传统传感器响应慢，无法实时联动气源切换。
- 进口设备采购和维护成本高昂。
Oxy.IQ的优势：
- ppb级精度：电流型燃料电池技术，检测下限达1ppb。
- 快速响应（<15秒）：实时报警并触发备用气源，避免批次污染。
- 长寿命设计：传感器寿命12-24个月，支持模块化更换，维护成本降低50%。
应用案例
某12英寸晶圆厂在氮气纯化环节部署Oxy.IQ，实现氧含量动态监控。通过4-20mA信号接入DCS系统，自动切换气源后，晶圆氧化不良率下降90%，年节省废品成本超200万元。